Η γενική περιγραφή της διαδικασίας αδειοδότησης μονάδας χαμηλής όχλησης είναι η ακόλουθη:
 Άδεια εγκατάστασης

• Υποβολή από τον ενδιαφερόμενο αίτησης και του Ερωτηματολογίου του Παραρτήματος I της ΥΑ οικ.483/35/Φ.15/2012 (Β΄ 158)
• Απάντηση της Αδειοδοτούσας Αρχής για τα απαιτούμενα δικαιολογητικά για την έκδοση της άδειας εγκατάστασης και την υποβολή της Υπεύθυνης Δήλωσης λειτουργίας- Σχέδιο Υπεύθυνης Δήλωσης (Υ.Δ.)
• Συγκέντρωση δικαιολογητικών είτε μέσω της Αδειοδοτούσας Αρχής είτε από τον ενδιαφερόμενο για την έκδοση άδειας εγκατάστασης
• Έκδοση της άδειας εγκατάστασης
• Εκ των υστέρων έλεγχος από την Αδειοδοτούσα Αρχή